事例紹介

目的

・ごく薄いDLC（Diamond Like Carbon）薄膜の膜厚及び強さの特定

試験条件

・サンプル：Siウエハ上のDLC膜（３ヶ所）を測定

サンプル

・試験条件：超精密硬さ系試験条件・・・多角粒子試験（GA1）

試験結果

シリコンウエハ上にSP³系のDLCを薄く蒸着、干渉色から膜厚の異なる3か所を試験した。

エロ―ジョン進行グラフ・エロージョン率分布グラフ

・被膜強さを示すエロージョン率は3カ所ともに0.002μm/gと同じ強さであった。
・膜厚は基材Siウエハとの変曲点から厚い方から81nm,70nm,50nmと読めた。
・基材のSiウエハの強さはDLCの強さと4桁も弱く分解能が足りず正確ではないが平均で2.53μm/gとなった。

評価

・DLC SP³系の膜強さは極端に強いためエロージョンが進行しにくい利点を生かして深さ分解能がおよそ2～3nmであった。
・薄膜の強さ分布はエロージョン進行グラフが直線的に進んでいることから均一に成膜されているといえる。
・膜厚は光の干渉色と厚さ計測の関係が一致していることからほぼ信頼できる。