パッケージ試験

硬質薄膜はセラミックスの薄膜と同じ意味になる。金属切削の刃物や、成形金型の表面等その使われる目的は耐摩性や寿命の延長が主なる目的となる。これらの膜はダイヤモンドと同じように非常に強い（硬いともいう）材質でその強度を測ることは薄いとのことも相まって難しい。また硬質薄膜は基材上にコーティング（被膜）されたり積層されたりして製造されるためにその界面の強度も重要な性能保証項目になる。コーティングや積層された硬質で薄膜の強度特定は非常に難しく材質検査や押し込み試験及び断面観察で行われているが精密な強度分布の計測が課題となっている。

MSE試験は表面から内部までの連続した強度計測が出来、そのデータから膜の強度や界面の強度及び膜厚が自動的に分かる。またセラミックス系独特の「硬くて脆い」などの強度面性をも取得可能になる。このような情報は硬質薄膜の性能向上と品質の安定に役立ちまたサンプル間の比較も正確に可能になり研究開発や検証の高度化と短時間化を可能にする。