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2条件試験 光学ガラス TiO2薄膜 被膜条件違い 被膜工法違い

高分解能が必要な光学薄膜（TiO2）の強さ分布調査

目的・5種類の成膜プロセスを変えたTiO2膜の膜質の差を可視化比較する。・精密な2条件試験でわずかな膜質の差を捉える。・単結晶ルチル強さと比較し強さの位置付けを評価する。試料及び試験条件サンプル下表に...