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DLC ナノ薄膜 硬質薄膜 膜厚分布

DLC超薄膜の強さと面内厚さ分布調査

目的・ごく薄いDLC（Diamond Like Carbon）薄膜の膜厚及び強さの特定試験条件・サンプル：Siウエハ上のDLC膜（３ヶ所）を測定サンプル・試験条件：超精密硬さ系試験条件・・・多角粒子試...