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DLC ナノ薄膜 硬質薄膜 膜厚分布

DLC超薄膜の強さと面内厚さ分布調査

目的・ごく薄いDLC（Diamond Like Carbon）薄膜の膜厚及び強さの特定試験条件・サンプル：Siウエハ上のDLC膜（３ヶ所）を測定サンプル・試験条件：超精密硬さ系試験条件・・・多角粒子試...

2条件試験 DLC TiCN 超硬 MSEマップ

硬質薄膜の強さと基材の影響を2条件試験で調査

目的4種類の硬質被膜を対象に評価条件の異なる2つの試験から、膜及び基材の特性を評価する。試験条件2条件試験（硬さ系と靭性系：多角と球形粒子）で全層分布を取得サンプル情報試験結果各被膜の2条件試験でのエ...